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ホイール割断

Keywords: Femtosecond Laser, Micro-machining, Inside modification

1. 研究背景

ホイール割断は脆性材料を分断する加工技術です.その工程は非常に簡単であるにもかかわらず, 断面品質,加工速度,歩留まりに優れ,液晶ディスプレイの加工に用いられています. しかし,メカニズムの理解は完全ではなく,経験則によって運用されています. そのため,加工現象を把握・理解し,メカニズムを解明することで,より低コスト,高品質な加工につなげることが目標です.

2. 実験方法

工具はスクライビングホイールと呼ばれ,直径数mmの円盤状をしており,外周部に鈍角の刃がついています. 近年は外周部に凹凸が存在するものが主流になっています.
工程は2工程から成り,まず,ホイールを材料に押しつけ,そのまま走査することで, 亀裂を形成します(スクライブ工程).その後,外力を与え亀裂を進展させることで, 材料を分断します(ブレーク工程).

実験装置
Fig.1 schematic illustration for wheel scribing

3. 今後の展望

今後は有限要素解析や光弾性観察を活用し,工具の刃先形状がガラス内部の破壊に与える影響を解明します.経験則からの脱却を図り,力学的根拠に基づいた最適な工具設計と,次世代の高度な割断プロセスの確立を目指します.

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